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冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养(1)
由于低温冷凝泵具有无油, 对所有气体的抽速都较大, 特别是对水蒸汽、H2 等抽速很大, 适应性强, 制冷机低速运行, 且运动部件很少, 有利于长期可靠运行等优点, 因而, 被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域, 以此来获得清洁的高真空或超高真空。
现以CTI Torr-8冷凝泵为例, 简要阐述冷凝泵的内部构造特点、工作原理以及维护保养方面的要点。
1.2、辐射罩
材料: 无氧铜; 温度: 80K。辐射罩包裹着冷头,是为了阻挡外来的热辐射。外侧为了反射热辐射, 实施了反射率很高的镍喷涂; 内侧为了阻挡热辐射反射到冷板, 实施了能吸收辐射能的黑化处理涂层。
1.3、冷板
材料: 无氧铜; 温度: 15K(二级冷头温度) ; 结构: 9片柱形, 5片锥形。冷板从功能上分为外表面冷凝排除气体部分和内表面活性炭吸附排除气体部分。O2、N2、Ar等凝缩性气体分子的绝大部分被挡在冷板外表面, 并在其表面凝缩, 而到达其内表面活性炭的气体分子则极少。H2分子在冷板外表面不被凝缩而被反射, 从而, 被位与其内表面的活性炭所吸附。
